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真空对电◁子显 微镜○有 万分主要的 功用,电子显微镜使命时,总共电子束旅途与待▽阐 发的样 △★品沿 途城市△置于高真空的 处境,假若真空度不足高,电子枪的栅极与阳极间 也许会★爆发极==间○○放电进而◁烧断灯 丝,电子束与■残留氛▽围◁粒子发作…碰撞还会导致散○射,或者阐发失真。 电子显微镜线月,j9九游会登录入口首页凭据用户实质项目需求,j9九游会登录入口首页深圳市托○理○拆利机电修立有限公司给 用户选用了几套爱△德华( …E○ ▽dw□ ar ds)n X■ DS真 ○空泵,该真空泵操○★纵…于○▽电 子显○微镜,为了使电 ◁子束中的电子尽量不受窒◁塞地挪动,电子显微 ○□镜的线mb…ar量○级的高线mbar量级的□超=高■真空;除了真空度,真空泵○使命△时的振◁动○ 程▽度也万 分 闭节,因为电子束的截面小,正在 样品 上○□的定 位精度 很★高,只要处于振动▽ 程度极低的处 境中,才气依旧这种精度;其余,为了◁ 避★○免油蒸▽ 汽 污 染样品 或 显 微 镜内部元 件,爱德华(Edwards)nxds系列干泵是该工艺使命处境的理◁□思选拔。
n□XDS10i 是下一代无… 油的干式涡旋 泵,并代替 XD□S◁5
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